產品中心
2.1 產品概述
產品用途：水洗式尾氣處理設備(Wet SCRUBBER)是一個專門處理現場各種制程廢氣的系統，在水溶解的過程中，將制程所產生的廢氣，反應成溶解于水中的物質，再經由另一道程序而排放至廠務處理系統，所處理的廢氣，包含大部份半導體廠所使用的特殊氣體，維修保養的頻率少且時間短，不會影響生產的時程。
產品功能和原理：在水溶解的過程中，將制程所產生的廢氣，反應成溶解于水中的物質，再經由另一道程序而排放至廠務處理系統，產生的副產品如顆粒等通過收集系統收集。
優點：處理的氣體包括：NH3、HCL、BCl3、Cl2 等。 整機設計美觀，安全標準，擁有處理量大、效率高、及長時間運轉，操作容易上手，保養簡單快速、零部件經久耐用
產品應用：MOCVD、PECVD、刻蝕機等配套設備，應用于半導體行業、太陽能電池行業制程中產生的廢氣。
關鍵詞：
制程廢氣
尾氣處理設備
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